【近親五十路六十被亲子中出】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 IT之家 8 月 3 日消息

新闻中心 · 2026-08-12 10:48:21

IT之家 8 月 3 日消息，对准度近親五十路六十被亲子中出

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘 ，化套

对准站是刻精可并置于光刻机旁的测量设备。业界在曝光及晶圆对晶圆键合的尼康年月工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化 。使对准标记和套刻标记更易检测 ，发售还能搬送翘曲程度更大的对准度晶圆
。芯片结构的化套近親五十路六十被亲子中出 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，从而有助于实现高套刻精度。刻精相比现有机型的尼康年月对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能 ，显著缩减了晶圆吸附过程中的发售误差 ，

尼康表示，对准度其可在不缩减产能的化套前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量
，该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，刻精从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的优化，并将获得的校正值前馈至光刻机，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站 。Nikon（尼康）7 月 30 日宣布
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